[发明专利]具有一体式转向流动路径的喷头

权利要求书

1.一种用于处理室的喷头，所述喷头包括：

主体，其具有限定充气室的上表面、下表面和侧表面；

多个贯穿孔，其被提供在所述主体的所述下表面上，所述多个贯穿孔与所述充气室和所述处理室流体连通；

输入口，其被提供在所述主体的所述上表面和所述侧表面中的一者上；

第一通道，其被提供在所述主体中，所述第一通道将所述输入口连接至所述充气室；

输出口，其被提供在所述主体的所述上表面和所述侧表面中的一者上；以及

第二通道，其被提供在所述主体中，所述第二通道将所述输出口连接至所述充气室。

2.根据权利要求1所述的喷头，其中所述输出口相对于所述输入口位于下游，并且与所述输入口流体连通。

3.根据权利要求1所述的喷头，其中所述输入口和所述输出口位于所述喷头的相对端部上。

4.根据权利要求1所述的喷头，其中所述输入口和所述输出口连接至所述充气室的相对端部。

5.根据权利要求1所述的喷头，其中所述输入口和所述输出口位于所述喷头的相对端部上，并且连接至所述充气室的相对端部。

6.一种系统，其包括：

根据权利要求1之所述喷头；以及

第一阀和第二阀，其分别连接至所述输入口和所述输出口；

其中所述第一阀连接至气体供应源；以及

其中所述第二阀连接至所述处理室的排放部。

7.根据权利要求6所述的系统，其还包括控制器，该控制器被配置成：

将所述第二阀关闭、将所述第一阀开启以将第一气体从所述气体供应源供应至所述输入口；

当后续经由所述第一阀将第二气体而非所述第一气体从所述气体供应源供应至所述输入口时，将所述第二阀开启；以及

在预定时间后将所述第二阀关闭。

8.根据权利要求1所述的喷头，其中：

所述侧表面垂直延伸朝向所述处理室的底部；以及

其中所述输出口位于所述侧表面的底端上。

9.根据权利要求8所述的喷头，其中所述侧表面的所述底端延伸通过在所述处理室中所布置的基座的至少一部分。

10.一种系统，其包括：

根据权利要求8所述的喷头；以及

第一阀和第二阀，其分别连接至所述输入口和所述输出口；

其中所述第一阀连接至气体供应源；以及

其中所述第二阀与所述处理室的排放部流体连通。

11.根据权利要求10所述的系统，其还包括控制器，该控制器被配置成：

将所述第二阀关闭并且将所述第一阀开启以将第一气体从所述气体供应源供应至所述输入口；

当后续经由所述第一阀将第二气体而非所述第一气体从所述气体供应源供应至所述输入口时，将所述第二阀开启；以及

在预定时间后将所述第二阀关闭。

12.根据权利要求1所述的喷头，其中所述下表面附接至所述处理室的侧壁。

13.根据权利要求12所述的喷头，其中所述输出口位于所述侧壁的底端上。

14.一种系统，其包括：

根据权利要求13所述的喷头；以及

第一阀和第二阀，其分别连接至所述输入口和所述输出口；

其中所述第一阀连接至气体供应源；以及

其中所述第二阀与所述处理室的排放部流体连通，所述排放部位于所述处理室的底部处。