[发明专利]配线数据生成装置、描绘系统以及配线数据生成方法在审
| 申请号： | 202180067695.3 | 申请日： | 2021-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN116324624A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 北村清志 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 宋晓宝 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的设计配线数据取得部(820)取得用以示出设计配线(411D)的设计配线数据，设计配线(411D)用以将基板(W)上位于设计位置(311pd)的元件电极(311)以及连接目标电极(321)彼此连接。局部配线数据生成部(830)生成用以示出局部配线(411R)的局部配线数据，局部配线(411R)通过删除设计配线(411D)中的元件电极(311)的设计位置(311pd)的周边部分而获得。实际位置数据取得部(860)取得实际位置数据，实际位置数据示出基板(W)上的元件电极(311)的实际位置(311pr)。修正配线数据生成部(880)生成用以示出修正配线(411C)的修正配线数据，修正配线(411C)用以将局部配线(411R)以及位于实际位置(311pr)的元件电极(311)彼此连接。 | ||
| 搜索关键词： | 数据 生成 装置 描绘 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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