[发明专利]红外线辐射元件及方法在审
| 申请号： | 202180021595.7 | 申请日： | 2021-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN115885173A | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | M·英博登 | 申请（专利权）人： | 4K-微机电系统有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N27/14 | 分类号： | G01N27/14 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 瑞士圣*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明涉及一种红外线辐射元件及方法。一种红外辐射元件(1)，适用于气体传感器、红外光谱仪或电子显微镜中的微型红外发射器(微热板)。微热板包括由多个支撑臂(4)支撑的板(2)。板和臂被制造为MEMS器件，包括单个连续的导电耐火陶瓷片，例如碳化铪(HfC)或碳化钽铪(TaHfC)。除了为板(2)提供结构悬臂支撑之外，每个臂(4)还用作板(2)的加热元件。通过在臂(4)上施加电压来加热板(2)。臂(4)也可以成形为吸收在加热和冷却臂和板期间产生的热机械应力。例如，可以将面积小于0.05mm |
||
| 搜索关键词： | 红外线 辐射 元件 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于4K-微机电系统有限责任公司，未经4K-微机电系统有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202180021595.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：带有压力平衡的筒
- 下一篇：具有含肽接头的位点特异性抗体-药物缀合物
