[发明专利]红外线辐射元件及方法在审
申请号: | 202180021595.7 | 申请日: | 2021-01-15 |
公开(公告)号: | CN115885173A | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | M·英博登 | 申请(专利权)人: | 4K-微机电系统有限责任公司 |
主分类号: | G01N27/14 | 分类号: | G01N27/14 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 张世俊 |
地址: | 瑞士圣*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 红外线 辐射 元件 方法 | ||
1.一种用于红外发射器微热板的散热器装置(1),该散热器装置(1)包括
红外发射器元件(2),以及连接到发射器元件(2)的多个悬臂支撑臂(4),其中:
发射器元件(2)由臂(4)悬挂;且
发射器元件和臂形成为一块连续的材料。
2.根据权利要求1所述的散热器装置(1),其中,所述发射器元件(2)可通过所述臂(4)中的电阻加热加热到预定的IR发射温度。
3.根据权利要求1或2所述的散热器装置(1),其中,所述IR发射温度大于700K,或者优选地大于1000K,或者优选地大于1,600K,或者优选地大于2,000K,或者更优选地大于2,500K,或更优选大于3,000K,或还更优选大于3,500K。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的散热器装置(1),其中,所述材料是硅。
5.根据权利要求4所述的散热器装置(1),其中,所述材料是导电耐火陶瓷。
6.根据权利要求5所述的散热器装置(1),其中,所述陶瓷包括碳、HfC、TaHfC或碳化钨。
7.根据前述权利要求中任一项所述的散热器装置(1),其中,所述臂(4)的数量是偶数,并且其中所述偶数是至少4个,或者优选地至少6个,或者更优选地至少8个。
8.根据前述权利要求中任一项所述的散热器装置(1),其中,所述臂(4)是可弹性变形的,以吸收所述发射器元件(2)和/或所述臂(4)的形状和/或尺寸的热机械变化在加热和冷却或发射器元件(2)期间。
9.根据前述权利要求中任一项所述的散热器装置(1),其中,所述臂(4)中的每一个具有沿其长度变化的横截面,使得其横截面积在所述臂(4)的区域处最小与发射器元件(2)相邻。
10.一种IR发射器装置包括根据前述权利要求中任一项所述的散热器装置(1),其中所述发射器元件(2)和所述臂(4)被封装在包括IR透明窗(21)的外壳中。
11.根据权利要求10所述的IR发射器装置,其中,所述外壳被抽真空至10-3Torr,或小于10-4Torr,或优选为小于10-5Torr,或更优选为小于10-6Torr。
12.一种气体传感、压力传感、气体分析、IR光谱仪、SEM或TEM装置,包括根据权利要求10和11之一的IR发射器装置,或包括根据权利要求1至9之一的散热器装置(1)的IR发射器装置。
13.根据权利要求12所述的便携式通信装置,包括气体传感、压力传感、气体分析、IR光谱仪、SEM或TEM装置。
14.一种产生宽带红外辐射的方法,其特征在于:
使用根据权利要求10和11之一的IR发射器装置,或包括根据权利要求1至9之一的散热器装置(1)的IR发射器装置。
15.根据权利要求14所述的方法,还包括在所述臂(4)两端施加电压以将所述发射器元件(2)加热到大于700K、或优选地大于1000K、或优选地大于1,600K的温度,或优选地大于2,000K,或更优选地大于2,500K,或者还更优选地大于3,000K,或者还更优选地大于3,500K。
16.根据权利要求14所述的方法,包括以大于200Hz、或优选地大于700Hz、或更优选地大于1,000Hz的频率使电压脉冲化。
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