[发明专利]泵模块在审
| 申请号： | 202180019053.6 | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN115176083A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | M·H·R·蒂尔利 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹真空泵有限责任公司 |
| 主分类号： | F04B37/02 | 分类号： | F04B37/02;F04B37/14;F04B39/12;F04B39/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘桢;张一舟 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 用于真空设备的泵模块，其具有：凸缘，其可以以真空密封的方式连接到真空设备；至少一个离子吸气剂泵；和至少一个容积吸气剂泵NEG，其中离子吸气剂泵直接连接到凸缘，并且NEG直接连接到离子吸气剂泵，并且其中NEG和凸缘彼此分开地布置。 | ||
| 搜索关键词： | 模块 | ||
【主权项】：
暂无信息
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