[发明专利]泵模块

说明书

用于真空设备的泵模块，其具有：凸缘，其可以以真空密封的方式连接到真空设备；至少一个离子吸气剂泵；和至少一个容积吸气剂泵NEG，其中离子吸气剂泵直接连接到凸缘，并且NEG直接连接到离子吸气剂泵，并且其中NEG和凸缘彼此分开地布置。

技术领域

本发明涉及一种用于真空设备的泵模块以及这样的真空设备。

背景技术

大量的工业和科学仪器和系统需要具有低于10^-7毫巴的压力的超高真空。为了在真空设备中产生这样的真空，通常采用各种泵系统的组合。因此，通常提供主泵(粗真空泵或前级真空泵)，由此产生具有小于10^-1毫巴至10^-3毫巴的压力的低真空。主真空泵与高真空泵相结合，以产生低于10^-3毫巴至10^-8毫巴的压力，并且可能地与超高真空泵(UHV泵)相结合，以产生低于10^-7毫巴的压力。UHV泵在这种情况下包括用于达到超高真空所需压力的目的的吸附泵。吸附泵当然包括离子吸气剂泵和容积吸气剂真空泵，容积吸气剂真空泵也被称为吸气剂泵或容积吸气剂泵。

大量不同的气体也可以借助于离子吸气剂泵泵送。离子吸气剂泵典型地具有两个阴极和一个阳极，在两者之间施加高电压。借助于高电压，电子从阴极加速到阳极，并且因此使气体粒子电离，气体粒子然后朝向阴极被加速并在那里被吸附，或者到达阳极并在那里通过它们的动能注入阳极中，因此在这两种情况下，它们不再对气体压力有贡献。由永磁体在外部施加的磁场增加了加速电子对气体粒子的电离的可能性。在这种情况下，离子吸气剂泵的泵容量由阳极和阴极的尺寸指示，并且因此受到真空设备中可用的安装空间的限制。

已知的容积吸气剂泵的工作原理是化学吸附反应性气体介质，特别地诸如氧气、氮气、氢气等，尽管氢气的物理吸附占主导地位。已知的容积吸气剂泵也具有“不可蒸发的吸气剂材料”(NEG)。这些容积吸气剂泵根据其吸气剂材料被称为NEG。这些泵具有高的吸附速度，并且因此也具有高的泵送速度，泵送速度通常高于相同尺寸的离子吸气剂泵。容积吸气剂泵的另一个优点是它们允许更高效地泵送氢气。然而，NEG对氢碳化合物的泵送效果较差，并且NEG特别地不能泵送惰性气体。

发明内容

本发明的技术问题是生产一种用于具有离子吸气剂泵和容积吸气剂泵的真空设备的泵模块，该泵模块具有紧凑的设计，并且易于连接到真空设备。

借助于根据权利要求1所述的泵模块以及根据权利要求11所述的真空设备来解决这个问题。

根据本发明的用于真空设备的泵模块具有凸缘，该凸缘可以以真空密封的方式连接到真空设备。根据本发明，泵模块还包括至少一个离子吸气剂泵和至少一个容积吸气剂泵(不可蒸发吸气剂泵-NEG)。在这种情况下，离子吸气剂泵直接连接到凸缘。NEG又直接连接到离子吸气剂泵，使得NEG和凸缘布置成使得它们彼此分离。因此，NEG和凸缘布置在离子吸气剂泵的相对两侧上，并且连接到离子吸气剂泵。因此，结果是堆叠或分层的结构，该结构具有从凸缘开始的以下顺序：凸缘-离子吸气剂泵-NEG。更具体地，离子吸气剂泵和NEG不在凸缘上的不同位置处连接。结果是小直径泵模块，因为不需要选择使离子吸气剂泵和NEG能够并排布置的凸缘直径，也不需要提供用于离子吸气剂泵和NEG的两个凸缘。并且由于这种减少的数量和可以选择小直径的事实，增加了真空设备或凸缘的密封性。因此，降低了真空设备泄漏的易发性。因此，有可能使用用于泵模块的小凸缘来实现离子吸气剂泵和NEG的节省空间的布置，该泵模块容易地且以较低成本焊接到真空设备。

优选地，离子吸气剂泵和NEG布置在凸缘的面内。这意味着凸缘具有大于NEG的基底面积和离子吸气剂泵的基底面积的面面积。以这种方式，有可能将具有离子吸气剂泵和NEG的泵模块结合到凸缘中，并且然后以真空密封的方式将它们与凸缘拧到真空设备上。