[发明专利]真空模块和真空设备以及用于容积吸气剂真空泵的再生的方法在审
| 申请号： | 202180019033.9 | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN115176329A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | M·H·R·蒂尔利 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹真空泵有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J41/20 | 分类号： | H01J41/20;F04B37/02;H01J41/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘桢;司昆明 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于在具有容积吸气剂泵和离子吸气剂泵的真空设备中再生容积吸气剂泵的方法，其中降低离子吸气剂泵的操作电压，记录通过离子吸气剂泵的电流以确定真空设备中的压力，并且然后根据离子吸气剂泵的电流控制NEG的加热元件，目的是加热NEG材料。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 模块 真空设备 以及 用于 容积 吸气 真空泵 再生 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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