[发明专利]真空模块和真空设备以及用于容积吸气剂真空泵的再生的方法在审
| 申请号： | 202180019033.9 | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN115176329A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | M·H·R·蒂尔利 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹真空泵有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J41/20 | 分类号： | H01J41/20;F04B37/02;H01J41/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘桢;司昆明 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 模块 真空设备 以及 用于 容积 吸气 真空泵 再生 方法 | ||
1.一种用于在具有容积吸气剂泵NEG和离子吸气剂泵的真空设备中再生NEG的方法，其中
降低所述离子吸气剂泵的操作电压，
记录通过所述离子吸气剂泵的电流以确定所述真空设备中的压力，并且
根据所述离子吸气剂泵的电流来控制所述NEG的加热元件，目的是加热所述NEG材料[打开-然后进行原理]。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，至少降低所述离子吸气剂泵的所述操作电压，从而不再保持泵送作用。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述操作电压降低到小于5kV，特别是小于3kV，并且优选地小于1kV。
4.根据权利要求1至3中的一项所述的方法，其中，如果由所述离子吸气剂泵记录的电流对应于高于第一预设压力的压力，则关闭所述加热元件。
5.根据权利要求1至4中的一项所述的方法，其中，如果由所述离子吸气剂泵记录的电流对应于低于第二预设压力的压力，则增加热输出。
6.根据权利要求4或5中的一项所述的方法，其中，所述第一预设压力和/或所述第二预设压力对应于10-5毫巴和优选地10-6毫巴，并且其中特别地，所述第一预设压力和所述第二预设压力相同。
7.一种具有容积吸气剂泵、NEG和离子吸气剂泵的真空模块，其中，所述NEG和所述离子吸气剂泵直接连接，其中，NEG和离子吸气剂泵连接到控制单元，并且其中，所述控制单元被设计用于执行根据权利要求1至6中的一项所述的方法。
8.具有容积吸气剂泵、NEG和离子吸气剂泵的真空设备，其中，NEG和离子吸气剂泵彼此分开地布置在所述真空设备中，其中，NEG和离子吸气剂泵连接到控制单元，并且其中，所述控制单元被设计用于执行根据权利要求1至6中的一项所述的方法。
9.根据权利要求7所述的真空模块或根据权利要求8所述的真空设备，其特征在于，所涉及的是公共控制单元。
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