[发明专利]控制装置、控制系统、用于操作控制系统的方法在审
| 申请号： | 202180011899.5 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN115023868A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | A.克里施;M.曼格;C.维曼;U.沃格尔 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | H01S3/13 | 分类号： | H01S3/13;H01S3/23;H01S5/00;H01S5/0687;H01S5/40;H01S5/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于激光器模块(20、21)的频率控制的控制系统(19、29、33、58)，包括用于生成激光辐射的至少一个激光器模块(20、21)、耦合或可耦合到激光器模块(20、21)的至少一个控制装置(1)，以及耦合或可耦合到控制装置(1)的至少一个光学谐振器(16、23、34)，其中，控制装置(1)包括半导体基板(2)，实施在半导体基板(2)上的第一庞德‑德雷弗‑霍尔系统(3、4、22)和实施在半导体基板(2)上的至少一个第二庞德‑德雷弗‑霍尔系统(3、4、22)，其中激光器模块(20、21)耦合到控制装置(1)的第一庞德‑德雷弗‑霍尔系统(3、4、22)并且可耦合到控制装置(1)的至少第二庞德‑德雷弗‑霍尔系统(3、4、22)，其中第一庞德‑德雷弗‑霍尔系统(3、4、22)耦合到光学谐振器(16、23、34)并且其中第二庞德‑德雷弗‑霍尔系统(3、4、22)可耦合到光学谐振器(16、23、34)。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 装置 控制系统 用于 操作 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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