[发明专利]控制装置、控制系统、用于操作控制系统的方法在审

专利信息
申请号: 202180011899.5 申请日: 2021-01-19
公开(公告)号: CN115023868A 公开(公告)日: 2022-09-06
发明(设计)人: A.克里施;M.曼格;C.维曼;U.沃格尔 申请(专利权)人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
主分类号: H01S3/13 分类号: H01S3/13;H01S3/23;H01S5/00;H01S5/0687;H01S5/40;H01S5/02
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 王蕊瑞
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 控制 装置 控制系统 用于 操作 方法
【权利要求书】:

1.一种用于激光器模块(20、21)的频率控制的控制系统(19、29、33、58),包括用于生成激光辐射的至少一个激光器模块(20、21)、耦合或能够耦合到所述激光器模块(20、21)的至少一个控制装置(1),以及耦合或能够耦合到所述控制装置(1)的至少一个光学谐振器(16、23、34),其中,所述控制装置(1)包括半导体基板(2),实施在所述半导体基板(2)上的第一庞德-德雷弗-霍尔系统(3、4、22)和实施在所述半导体基板(2)上的至少一个第二庞德-德雷弗-霍尔系统(3、4、22),其中

所述激光器模块(20、21)耦合到所述控制装置(1)的所述第一庞德-德雷弗-霍尔系统(3、4、22)并且能够耦合到所述控制装置(1)的至少第二庞德-德雷弗-霍尔系统(3、4、22),以及其中

所述第一庞德-德雷弗-霍尔系统(3、4、22)耦合到所述光学谐振器(16、23、34)并且其中所述第二庞德-德雷弗-霍尔系统(3、4、22)能够耦合到所述光学谐振器(16、23、34)。

2.根据权利要求1所述的控制系统,其特征在于至少两个激光器模块(20、21)和至少三个庞德-德雷弗-霍尔系统(3、4、22),其中所述激光器模块(20、21)中的每一个耦合到所述控制装置(1)的相应庞德-德雷弗-霍尔系统(3、4、22),并且其中所述激光器模块(20、21)中的每一个能够耦合到所述控制装置(1)的至少一个第三庞德-德雷弗-霍尔系统(3、4、22)。

3.根据权利要求1或2所述的控制系统,其特征在于至少两个光学谐振器(16、23、34)和至少三个庞德-德雷弗-霍尔系统(3、4、22),其中所述光学谐振器(16、23、34)中的每一个耦合到所述控制装置(1)的相应庞德-德雷弗-霍尔系统(3、4、22),并且其中所述光学谐振器(16、23、34)中的每一个能够耦合到至少第三庞德-德雷弗-霍尔系统(3、4、22)。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的控制系统,其特征在于,所述庞德-德雷弗-霍尔系统(3、4、22)的数量大于所述激光器模块(20、21)或光学谐振器(16、23、34)的数量。

5.根据权利要求4所述的控制系统,其特征在于,所述庞德-德雷弗-霍尔系统(3、4、22)的数量至少是所述激光器模块(20、21)或光学谐振器(16、23、34)的数量的两倍。

6.根据前述权利要求1至5中任一项所述的控制系统,其特征在于,至少一个驱动单元(24)被配置为驱动所述第一庞德-德雷弗-霍尔系统和至少第二庞德-德雷弗-霍尔系统(3、4、22)以实行耦合或解耦。

7.根据权利要求6所述的控制系统,其特征在于,所述驱动单元(24)是矩阵电路(25)。

8.根据前述权利要求1至7中任一项所述的控制系统,其特征在于,所述激光器模块(20、21)耦合到至少两个庞德-德雷弗-霍尔系统(3、4、22)。

9.根据权利要求8所述的控制系统,其特征在于,耦合到所述激光器模块(20、21)的一个庞德-德雷弗-霍尔系统(3、4、22)的激光辐射以及耦合到所述激光器模块(20、21)的另一个庞德-德雷弗-霍尔系统(3、4、22)的激光辐射相对于彼此具有相位偏移。

10.根据权利要求9所述的控制系统,其特征在于,为了生成所述相位偏移,调制器单元(35)连接在所述激光器模块(20、21)和所述庞德-德雷弗-霍尔系统(3、4、22)之间。

11.根据权利要求10所述的控制系统,其特征在于,所述调制器单元(35)包括梳状线间隔控制单元(61)。

12.根据前述权利要求1至11中任一项所述的控制系统,其特征在于另外的光电检测器单元(30),其中所述光电检测器单元(30)能够连接或连接到参考光源(31)。

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