[发明专利]用于原位沉积监测的方法及设备在审
| 申请号： | 202180008904.7 | 申请日： | 2021-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN114929931A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 王晓东;迈克尔·查尔斯·库特尼;瓦鲁扬·查卡里安;雷建新;汪荣军 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/52;C23C14/08;C23C14/56;H01J37/34;G01N23/223;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 原位监测挡盘上的沉积的方法及设备。在一些实施方式中，设备可包括：处理腔室，具有内部处理空间；外壳，设置在内部处理空间外部，其中外壳在挡盘不在内部处理空间中使用时接纳挡盘；挡盘臂，从外壳到内部处理空间来回移动挡盘；和至少一个传感器，整合到外壳中。至少一个传感器被构造成用以确定在内部处理空间中粘涂处理之后沉积在挡盘上的材料的至少一种膜性质。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 原位 沉积 监测 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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