[发明专利]用于原位沉积监测的方法及设备

权利要求书

1.一种用于监测沉积的设备，包括：

处理腔室，具有内部处理空间；

外壳，设置在所述内部处理空间外部，所述外壳被构造成用以在挡盘不在所述内部处理空间中使用时接纳所述挡盘；

挡盘臂，被构造成用以从所述外壳到所述内部处理空间来回移动所述挡盘；和

至少一个传感器，整合到所述外壳中，所述至少一个传感器被构造成用以确定在所述内部处理空间中粘涂处理之后沉积在所述挡盘上的材料的至少一种膜性质。

2.如权利要求1所述的设备，进一步包括：

存储器，设置在所述外壳中，所述存储器从所述至少一个传感器接收与所述至少一种膜性质相关联的数据。

3.如权利要求2所述的设备，进一步包括：

通信端口，设置在所述外壳中，所述通信端口将所述存储器或所述至少一个传感器连接到外部装置，其中所述通信端口传输来自所述存储器的储存数据或来自所述至少一个传感器的实时数据并且包括有线或无线数据传输。

4.如权利要求1所述的设备，其中所述至少一个传感器包括光谱传感器、膜形态传感器或膜厚度传感器。

5.如权利要求4所述的设备，其中所述光谱传感器包括X射线荧光(XRF)分析器，所述X射线荧光分析器确定沉积在所述挡盘的至少上表面上的所述材料的所述至少一种膜性质。

6.如权利要求5所述的设备，其中所述材料是氧化镁(MgO)并且所述至少一种膜性质包括所述MgO的镁氧比。

7.如权利要求1所述的设备，其中所述挡盘臂被构造成用以在所述外壳内旋转所述挡盘，使得所述挡盘的表面上的超过一个位置暴露给所述至少一个传感器。

8.如权利要求1所述的设备，其中所述至少一个传感器被构造成用以随着所述挡盘进入所述外壳而探测所述至少一种膜性质。

9.如权利要求1所述的设备，其中所述外壳包括可移动密封板，所述可移动密封板将所述外壳的内部空间与所述内部处理空间分开。

10.如权利要求9所述的设备，其中所述外壳被构造成用以独立于所述内部处理空间而被加压，使得由所述至少一个传感器获得的关于所述至少一种膜性质的数据被强化。

11.一种用于监测沉积的设备，包括：

处理腔室，具有内部处理空间；

外壳，设置在所述内部处理空间外部，所述外壳被构造成用以在挡盘不在所述内部处理空间中使用时接纳所述挡盘；

挡盘臂，被构造成用以从所述外壳到所述内部处理空间来回移动所述挡盘；和

至少一个传感器，整合到所述挡盘中，所述至少一个传感器被构造成用以确定在所述内部处理空间中粘涂处理之后沉积在所述挡盘上的材料的至少一种膜性质。

12.如权利要求11所述的设备，进一步包括：

功率源，整合到所述挡盘中，其中所述功率源被构造成用以给所述至少一个传感器供能；和

感应充电系统，整合到所述外壳中，其中所述感应充电系统被构造成用以当所述挡盘被放置在所述外壳内时给用于所述至少一个传感器的所述功率源供能。

13.如权利要求11所述的设备，进一步包括：

第一存储器，整合到所述挡盘中，其中所述第一存储器被构造成用以储存来自所述至少一个传感器的与所述至少一种膜性质相关联的数据。

14.如权利要求13所述的设备，进一步包括：

第二存储器，设置在所述外壳中，当所述挡盘被放置在所述外壳内时，所述第二存储器经由有线或无线传输从所述第一存储器接收与所述至少一种膜性质相关联的数据。