[发明专利]用于借助于多个带电粒子子束来检查样品的方法和设备在审
| 申请号： | 202180008000.4 | 申请日： | 2021-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN114902037A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | A·P·J·埃夫廷;S·V·邓霍德 | 申请（专利权）人： | 戴尔米克知识产权私人有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2252 | 分类号： | G01N23/2252;H01J37/317 |
| 代理公司： | 重庆智鹰律师事务所 50274 | 代理人： | 唐超尘;刘贻行 |
| 地址： | 荷兰代*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种借助于多束带电粒子检查设备来检查样品的方法以及用于执行该方法的设备。多束带电粒子检查设备配置成将带电粒子子束阵列投射在所述样品上的曝光区域内。所述设备包括检测系统，该检测系统用于检测由于带电粒子子束阵列与样品的相互作用而由样品发出的来自所述曝光区域的X射线和/或阴极发光。该方法包括以下步骤：将带电粒子子束阵列投射在所述样品上的曝光区域内；以及监测来自所述带电粒子子束阵列的基本上所有带电粒子子束与样品的相互作用的X射线和/或阴极发光的组合发射。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 借助于 带电 粒子 子束来 检查 样品 方法 设备 | ||
【主权项】：
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