[实用新型]单颗放置治具有效
| 申请号： | 202123447556.X | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN216696417U | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 李春阳;彭祎;刘凤;任超 | 申请（专利权）人： | 宁波芯健半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315336 浙江省宁波市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及晶圆测试领域，尤其是涉及单颗放置治具，底板和顶盖，所述底板开设有多个用于放置单个晶圆的放置槽，所述顶盖覆盖多个所述放置槽，且所述顶盖与所述底板定位连接。本申请通过设置顶盖与底板转动连接，且顶盖与底板定位连接，配合多个用于放置单个晶圆的放置槽，使得晶圆与放置槽一一对应，且晶圆放置于放置槽内后，转动顶盖直至顶盖与底板定位配合，当设备内加热时，晶圆一一保持放置于放置槽内，设备内的气流经过放置槽时不易使得多个晶圆堆叠。 | ||
| 搜索关键词： | 放置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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