[实用新型]单颗放置治具

权利要求书

1.单颗放置治具，其特征在于：包括底板(2)和顶盖(1)，所述底板(2)开设有多个用于放置单个晶圆的放置槽(3)，所述顶盖(1)覆盖多个所述放置槽(3)，且所述顶盖(1)与所述底板(2)定位连接。

2.根据权利要求1所述的单颗放置治具，其特征在于：所述底板(2)的一端固定有转轴(14)，所述顶盖(1)凸设有套杆(7)，所述套杆(7)开设有转槽(8)，所述转轴(14)插接于所述转槽(8)内。

3.根据权利要求2所述的单颗放置治具，其特征在于：所述转轴(14)凸设有定位杆(13)，所述定位杆(13)抵接于所述套杆(7)的一端。

4.根据权利要求3所述的单颗放置治具，其特征在于：所述转轴(14)设置有两个，所述套杆(7)设置有两个，两个所述转轴(14)并列设置，且两个所述套杆(7)并列设置，一个所述转轴(14)插接于一个所述套杆(7)，另一个所述转轴(14)插接于另一个所述套杆(7)。

5.根据权利要求4所述的单颗放置治具，其特征在于：所述顶盖(1)凸设有抵接条(15)，所述抵接条(15)抵接于所述底板(2)的底端面。

6.根据权利要求1所述的单颗放置治具，其特征在于：放置槽(3)的内壁开设有底透气孔(4)，且所述底透气孔(4)贯穿所述底板(2)，所述顶盖(1)开设有多个贯穿所述顶盖(1)的顶透气孔(10)，所述底透气孔(4)与所述顶透气孔(10)连通。

7.根据权利要求6所述的单颗放置治具，其特征在于：所述顶盖(1)凸设有握持条(16)。

8.根据权利要求7所述的单颗放置治具，其特征在于：所述握持条(16)凸设有定位条(17)，所述定位条(17)抵接于所述底板(2)的侧端面。

9.根据权利要求8所述的单颗放置治具，其特征在于：所述定位条(17)凸设有限位条(18)，所述限位条(18)抵接于所述底板(2)的底端面。

10.根据权利要求1所述的单颗放置治具，其特征在于：所述顶盖(1)开设有贯穿所述顶盖(1)的顶安装孔(11)，所述底板(2)开设有贯穿所述底板(2)的底安装孔(5)，且所述顶安装孔(11)的内壁与所述底安装孔(5)的内壁齐平。