[实用新型]一种投影式光刻机用UV-LED光引擎设备有效
| 申请号： | 202123378009.0 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN216718901U | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 石超;杨振东;李成明 | 申请（专利权）人： | 广州市波电电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/09;G02B7/02 |
| 代理公司： | 广州中浚雄杰知识产权代理有限责任公司 44254 | 代理人： | 李肇伟 |
| 地址： | 510800 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种投影式光刻机用UV‑LED光引擎设备，包括外壳和光学系统，光学系统包括光源系统、光阑和中继光学系统，光源系统的出射光线依次经光阑和中继光学系统后照射到目标面上，光源系统按光路方向依次包括光源模块、集光模块、匀光模块和聚光模块，聚光模块包括第一聚光透镜和第二聚光透镜，中继光学系统包括第一光学透镜组、第二光学透镜组合平面反射镜；外壳包括相互连接的第一壳体、第二壳体和第三壳体，光源系统设在第一壳体内，第二聚光透镜设在第一壳体与第二壳体的连接处，光阑和第二光学透镜组设在第二壳体内，平面反射镜和第二光学透镜组设在第三壳体内。本实用新型体积小，且技术参数满足中高端领域的应用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 投影 光刻 uv led 引擎 设备 | ||
【主权项】：
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