[实用新型]一种投影式光刻机用UV-LED光引擎设备

权利要求书

1.一种投影式光刻机用UV-LED光引擎设备，包括外壳和光学系统，其特征在于：所述光学系统包括光源系统、光阑和中继光学系统，光源系统的出射光线依次经光阑和中继光学系统后照射到目标面上，所述光源系统按光路方向依次包括光源模块、集光模块、匀光模块和聚光模块，所述聚光模块包括第一聚光透镜和第二聚光透镜，所述中继光学系统包括第一光学透镜组、第二光学透镜组合平面反射镜；所述外壳包括相互连接的第一壳体、第二壳体和第三壳体，所述光源系统设在第一壳体内，所述第二聚光透镜设在第一壳体与第二壳体的连接处，所述光阑和第二光学透镜组设在第二壳体内，所述平面反射镜和第二光学透镜组设在第三壳体内。

2.根据权利要求1所述的一种投影式光刻机用UV-LED光引擎设备，其特征在于：所述光源模块、集光模块、匀光模块、聚光模块的第一聚光透镜设在第一固定套上，所述第一固定套固定在第一壳体的一端；所述第二聚光透镜通过第二固定套固定在第二壳体的一端；所述第一光学透镜组通过第三固定套固定在第二壳体的另一端；所述第二光学透镜组通过第四固定套固定在第三壳体的一端；所述平面反射镜通过固定板固定在第三壳体的斜面上。

3.根据权利要求2所述的一种投影式光刻机用UV-LED光引擎设备，其特征在于：所述第一壳体的一端内壁设有第一凸缘，所述第一固定套用过螺栓固定在第一凸缘上；所述第二壳体的一端内壁设有第二凸缘，另一端内壁设有第三凸缘，所述第二固定套通过螺栓固定在第二凸缘上，所述第三固定套通过螺栓固定在第三凸缘上；所述第三壳体的一端内壁设有第四凸缘，所述第四固定套通过螺栓固定在第四凸缘上。

4.根据权利要求1所述的一种投影式光刻机用UV-LED光引擎设备，其特征在于：光引擎设备还包括用于光源模块散热的散热模块、用于控制驱动光源模块及散热模块的驱动控制模块和显示模块。

5.根据权利要求1所述的一种投影式光刻机用UV-LED光引擎设备，其特征在于：所述光源模块包括灯板和若干UV-LED芯片，UV-LED芯片的峰值波长为350nm-450nm。

6.根据权利要求1所述的一种投影式光刻机用UV-LED光引擎设备，其特征在于：所述集光模块包括1-3层光学透镜，所述光学透镜为球面透镜和或非球面透镜。

7.根据权利要求1所述的一种投影式光刻机用UV-LED光引擎设备，其特征在于：所述匀光模块为复眼透镜结构或光学积分棒结构。

8.根据权利要求1所述的一种投影式光刻机用UV-LED光引擎设备，其特征在于：所述光阑位于聚光模块焦平面处，光阑具有矩形或六边形的通光口。