[实用新型]一种半导体清洗用辅助设备有效
| 申请号： | 202123235997.3 | 申请日： | 2021-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN216757430U | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 万伏初 | 申请（专利权）人： | 江苏万喜至工业设计有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/06 | 分类号： | B08B3/06;B08B3/10;B08B13/00;F26B25/00;F26B25/16;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) 32304 | 代理人： | 浦蓉 |
| 地址： | 226600 江苏省南通市海安高新区(*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体清洗用辅助设备，包括外罩，所述外罩内安装成对网筒，且两个网筒沿上下方向依次分布，所述外罩内安装转动调节机构，且转动调节机构用于调整成对网筒上下位置，所述网筒内安装有隔网，且隔网沿网筒筒腔长度方向呈横向阵列状分布，所述外罩内安装有伸缩调节机构。本实用新型通过在外罩内设置成对网筒，通过伸缩调节机构同时调整两个网筒内隔网伸缩，以使相邻隔网之间硅片处于运动状态，保证清洗的洁净度；通过转动调节机构调整成对网筒上下位置，以对清洗用网筒和晾干用网筒进行往复置换，可利用自动夹持机构自动将晾干用网筒内硅片之间取出，这样操作效率高，且拿取便捷，省时省力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 清洗 辅助 设备 | ||
【主权项】：
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