[实用新型]一种半导体清洗用辅助设备

说明书

本实用新型公开了一种半导体清洗用辅助设备，包括外罩，所述外罩内安装成对网筒，且两个网筒沿上下方向依次分布，所述外罩内安装转动调节机构，且转动调节机构用于调整成对网筒上下位置，所述网筒内安装有隔网，且隔网沿网筒筒腔长度方向呈横向阵列状分布，所述外罩内安装有伸缩调节机构。本实用新型通过在外罩内设置成对网筒，通过伸缩调节机构同时调整两个网筒内隔网伸缩，以使相邻隔网之间硅片处于运动状态，保证清洗的洁净度；通过转动调节机构调整成对网筒上下位置，以对清洗用网筒和晾干用网筒进行往复置换，可利用自动夹持机构自动将晾干用网筒内硅片之间取出，这样操作效率高，且拿取便捷，省时省力。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种半导体清洗用辅助设备。

背景技术

目前用于集成电路制造的硅抛光片大都采用拉晶、切片、倒角、腐蚀、抛光、清洗等工艺流程，抛光后的硅片表面附着大量颗粒，清洗为整个工艺的最后一步，因而清洗效果的好坏将直接反应到客户那，硅片清洗一般直接放置于清洗槽内清洗，清洗效果不佳，需要人为拿放硅片，这样操作效率低，且拿取不便捷，费事费力，鉴于此，我们提出一种半导体清洗用辅助设备。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体清洗用辅助设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体清洗用辅助设备，包括外罩，所述外罩内安装成对网筒，且两个网筒沿上下方向依次分布，所述外罩内安装转动调节机构，且转动调节机构用于调整成对网筒上下位置，所述网筒内安装有隔网，且隔网沿网筒筒腔长度方向呈横向阵列状分布，所述外罩内安装有伸缩调节机构，且伸缩调节机构用于同时控制两个网筒内隔网伸缩移动，所述外罩底罩口内固定安装底网，且外罩顶罩口口壁铰接有罩盖，所述罩盖内安装有自动夹持机构，且自动夹持机构用于对相应网筒内晶片夹取。

优选的，所述外罩外固定安装有密封罩，且电机和第一电动缸均置于密封罩内。

优选的，所述伸缩调节机构包括第一电动缸、伸缩架和安装座，所述外罩内设伸缩架，且伸缩架通过第一电动缸驱动，所述伸缩架为U字形，所述伸缩架两侧端分别延伸至两个网筒内，且两个延伸端上分别固定安装有安装座，所述安装座上固定安装有第一贯穿轴，且第一贯穿轴贯穿相应隔网，所述隔网上远离第一贯穿轴的一端贯穿有第二贯穿轴，且第二贯穿轴固定于网筒内壁上。

优选的，所述自动夹持机构包括第二电动缸、升降座、挤压块、安装板、铰接轴、第一夹片和第二夹片，所述罩盖上安装成对第二电动缸，且两个第二电动缸自由端固定安装同一升降座，所述升降座上固定安装有挤压块，且挤压块沿升降座长度方向呈纵向阵列状分布，所述罩盖内固定安装有安装板，且安装板上固定有铰接轴，所述铰接轴和挤压块对应的纵向阵列状分布，所述铰接轴上转动安装有第一夹片和第二夹片，且位于同一铰接轴上第一夹片夹头端和第二夹片夹头端平行设置，所述挤压块上设导槽，且导槽由外端至里端呈逐步收缩状设置，同一所述铰接轴上第一夹片按压端和第二夹片按压端置于相应导槽槽腔内。

优选的，所述外罩外固定安装有密封罩，且电机和第一电动缸均置于密封罩内。

优选的，所述外罩内固定安装有加热管，且加热管正对上侧网筒。

优选的，所述外罩两侧分别套有伸缩套座，所述外罩两侧分别设有滑槽，所述伸缩套座延伸至相应滑槽内，且可沿相应滑槽内槽壁滑动。

优选的，所述伸缩套座上转动安装有插轴，且插轴上固定套设轴套，所述伸缩座上螺纹安装有拧紧销，且插轴上设有和拧紧销适配的螺纹槽，所述轴套内插有伸缩轴，且伸缩轴通过固定销固定于轴套上，所述伸缩轴远离轴套一端安装万向轮。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：