[实用新型]一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台

摘要

本实用新型公开了一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台，涉及晶棒产出技术领域。本实用新型包括外罩，外罩的顶部安装有导晶棒管，外罩的内侧安装有坩埚，外罩内侧的底部固定有多个液压缸，液压缸的顶部固定有支撑板，支撑板的顶部安装有用于驱动坩埚转动的转动机构，转动机构包括电机、主动齿轮、从动齿轮、转动杆和限位块，电机固定于支撑板的顶部。本实用新型通过液压缸、主动齿轮和从动齿轮之间的相互配合，使得使用者可以根据实际的情况随时调节坩埚的转速和高度，控制方便，保证单晶的品质，且通过支撑块、重量传感器和控制器之间的相互配合，使得坩埚内部的液体与导流筒下口之间的距离保持同一高度。