[实用新型]一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台

说明书

本实用新型公开了一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台，涉及晶棒产出技术领域。本实用新型包括外罩，外罩的顶部安装有导晶棒管，外罩的内侧安装有坩埚，外罩内侧的底部固定有多个液压缸，液压缸的顶部固定有支撑板，支撑板的顶部安装有用于驱动坩埚转动的转动机构，转动机构包括电机、主动齿轮、从动齿轮、转动杆和限位块，电机固定于支撑板的顶部。本实用新型通过液压缸、主动齿轮和从动齿轮之间的相互配合，使得使用者可以根据实际的情况随时调节坩埚的转速和高度，控制方便，保证单晶的品质，且通过支撑块、重量传感器和控制器之间的相互配合，使得坩埚内部的液体与导流筒下口之间的距离保持同一高度。

技术领域

本实用新型属于晶棒产出技术领域，特别是涉及一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台。

背景技术

单晶硅，又称硅单晶，是一种半导体材料。单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，并用直拉法生长无错位单晶硅的设备，炉台时单晶炉的一部分，而12吋是单晶炉炉台的一种常用尺吋，在生产制造过程中，往往不能够保证坩埚位于合适的高度且具有稳定的转速，进而降低了出晶的效果，以及现有的晶棒在出晶时大小不能确定，进而使得坩埚内部的液面也无法确定，从而对液口距无法确定。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台，以解决现有的问题：在生产制造过程中，往往不能够保证坩埚位于合适的高度且具有稳定的转速，进而降低了出晶的效果。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种用于生产晶棒的12吋提拉速炉台，包括外罩，所述外罩的顶部安装有导晶棒管，所述外罩的内侧安装有坩埚，所述外罩内侧的底部固定有多个液压缸，所述液压缸的顶部固定有支撑板，所述支撑板的顶部安装有用于驱动坩埚转动的转动机构。

进一步地，所述转动机构包括电机、主动齿轮、从动齿轮、转动杆和限位块；

所述电机固定于支撑板的顶部，所述电机的输出端竖直向上固定有主动齿轮，所述主动齿轮的一侧啮合连接有从动齿轮，所述从动齿轮的内部焊接有转动杆，且所述转动杆与支撑板转动连接，所述转动杆顶部的外侧焊接有限位块，所述限位块用于所述转动杆转动时可带动所述坩埚转动，且所述转动杆和限位块均与坩埚滑动连接。

进一步地，所述坩埚的底部转动连接有两个支撑块，所述支撑块的底部且位于支撑板的顶部安装有重量传感器，所述支撑板的底部还安装有控制器。

进一步地，所述转动杆与支撑板通过轴承转动连接。

进一步地，所述主动齿轮的直径小于从动齿轮的直径。

进一步地，所述重量传感器与控制器以及控制器与液压缸均电性连接。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型通过液压缸、主动齿轮和从动齿轮之间的相互配合，使得使用者可以根据实际的情况随时调节坩埚的转速和高度，控制方便，保证单晶的品质。

2、本实用新型通过支撑块、重量传感器和控制器之间的相互配合，使得坩埚内部的液体与导流筒下口之间的距离保持同一高度，从而保证晶棒的产出效率和质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型外罩的剖视图；

图3为本实用新型电机、主动齿轮和转动杆之间的结构示意图；

图4为本实用新型坩埚的剖视图。