[实用新型]膜厚测试装置有效
| 申请号： | 202123138244.0 | 申请日： | 2021-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN216432856U | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 马骞;陆嘉文;杨德良 | 申请（专利权）人： | 南京微纳科技研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 朱颖;臧建明 |
| 地址： | 211800 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于膜厚测试技术领域，具体涉及一种膜厚测试装置。本实用新型用以解决相关技术中测试膜厚效率较低的问题。膜厚测试装置包括导光装置和处理设备；处理设备与导光装置连接，导光装置具有朝向待测薄膜不同位置设置的多个采集端，导光装置用于将各采集端接收到的来自待测薄膜的反射光线引导至处理设备；处理设备用于根据反射光线获取各采集端对应的待测薄膜的厚度。待测薄膜表面反射的多个反射光线经采集端引导到处理设备，处理设备根据多个反射光线获取多个待测点的膜厚，提高了测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京微纳科技研究院有限公司，未经南京微纳科技研究院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202123138244.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种变频分散机
- 下一篇：一种便于更换灯泡的景观灯
