[实用新型]膜厚测试装置

权利要求书

1.一种膜厚测试装置，其特征在于，包括：导光装置和处理设备；所述处理设备与所述导光装置连接，所述导光装置具有朝向待测薄膜不同位置设置的多个采集端，所述导光装置用于将各所述采集端接收到的来自所述待测薄膜的反射光线引导至所述处理设备；所述处理设备用于根据所述反射光线获取各所述采集端对应的所述待测薄膜的厚度。

2.根据权利要求1所述的膜厚测试装置，其特征在于，所述处理设备包括阵列光谱仪和分析设备，所述分析设备和所述阵列光谱仪连接，所述阵列光谱仪和所述导光装置连接，所述阵列光谱仪用于根据各所述反射光线获取相应的多个干涉图像，所述分析设备用于根据所述干涉图像计算相应的膜厚。

3.根据权利要求2所述的膜厚测试装置，其特征在于，所述阵列光谱仪包括分光装置、滤波腔体组件和成像装置，所述滤波腔体组件位于所述分光装置与所述成像装置之间，所述滤波腔体组件包括多个滤波腔体，所述分光装置用于将所述反射光线分散成多个分散光束，各所述滤波腔体用于处理各所述分散光束以形成输出光谱，所述成像装置用于根据所述输出光谱获取所述干涉图像。

4.根据权利要求3所述的膜厚测试装置，其特征在于，所述滤波腔体包括多个滤波单元，所述分散光束内具有多个分散光，各所述滤波单元用于处理各所述分散光以获得相应波长的所述分散光。

5.根据权利要求4所述的膜厚测试装置，其特征在于，所述滤波腔体包括第一滤波腔体，所述第一滤波腔体在所述滤波腔体组件内沿第一预设方向排布，所述第一滤波腔体内包括多个沿第二预设方向排布的滤波单元，且所述第一滤波腔体内的每个所述滤波单元的通带均不相同，所述第二预设方向垂直于所述第一预设方向。

6.根据权利要求5所述的膜厚测试装置，其特征在于，所述分光装置包括柱面镜。

7.根据权利要求4所述的膜厚测试装置，其特征在于，所述滤波腔体还包括第二滤波腔体，所述第二滤波腔体在所述滤波腔体组件内阵列排布，所述第二滤波腔体内包括多个阵列排布的滤波单元，所述第二滤波腔体内的每个所述滤波单元的通带均不相同。

8.根据权利要求7所述的膜厚测试装置，其特征在于，所述分光装置包括微透镜阵列，所述微透镜阵列包括阵列排布的多个微透镜，每个所述微透镜的一侧对应一个所述反射光线，另一侧对应一个所述第二滤波腔体。

9.根据权利要求1所述的膜厚测试装置，其特征在于，还包括支撑架，所述支撑架包括彼此连接的支撑座和支撑杆，所述支撑杆与所述采集端连接，所述支撑座用于放置所述待测薄膜，以使各所述采集端正对所述待测薄膜。

10.根据权利要求9所述的膜厚测试装置，其特征在于，所述支撑杆包括与所述支撑座连接的垂直杆以及与所述垂直杆连接的水平杆，所述水平杆上设置有用于插装所述采集端的安装孔。

11.根据权利要求1所述的膜厚测试装置，其特征在于，还包括光源，所述导光装置与所述光源连接，所述导光装置用于将来自所述光源的入射光线引导至各所述采集端，并由所述采集端引导至所述待测薄膜。

12.根据权利要求11所述的膜厚测试装置，其特征在于，所述导光装置包括Y型光纤，所述Y型光纤具有与所述光源连接的第一端、第二端、以及与所述处理设备连接的第三端，所述第二端包括采集端。

13.根据权利要求11所述的膜厚测试装置，其特征在于，所述光源包括卤素灯和/或LED阵列灯。