[实用新型]一种多晶硅铸锭炉加热结构有效
| 申请号: | 202123138153.7 | 申请日: | 2021-12-14 |
| 公开(公告)号: | CN216427486U | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
| 发明(设计)人: | 王兵 | 申请(专利权)人: | 安徽明河新材料有限公司 |
| 主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 合肥兆信知识产权代理事务所(普通合伙) 34161 | 代理人: | 汪洋 |
| 地址: | 235200 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉加热结构,包括炉体,固定连接在炉体内壁底部的底座,安装在底座顶部的锅体,围绕在锅体表面的防护罩,环绕在防护罩外部的四周加热组件和顶部加热组件,设置在炉体内部的延伸管,吊装在延伸管底部的晶体,所述晶体的表面环绕有位于锅体内部的加热环,所述炉体的内部设置有用于拉动加热环升降的结构。本实用新型通过环绕设置在晶体外部的加热环对晶体进行进一步加热,提高锅体内部整体温度,而升降结构能够对加热环进行牵引,避免加热环与硅液接触,解决了现有的铸锭炉只具备从外部多面对坩埚进行加热的效果,无法进一步提高坩埚内部温度,严重影响了铸锭炉加热均匀度的问题。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 加热 结构 | ||
【主权项】:
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