[实用新型]一种厌氧环境烤胶机有效
| 申请号： | 202123067771.7 | 申请日： | 2021-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN217342158U | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 康凯;陈旺;康威;覃伯成 | 申请（专利权）人： | 深圳迪道微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/02 | 分类号： | B05D3/02;B05D3/04 |
| 代理公司： | 南京苏创专利代理事务所(普通合伙) 32273 | 代理人： | 王华 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区坪*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种厌氧环境烤胶机，包括烘烤腔，烘烤腔内设置有隔板和托盘，隔板将烘烤腔分成上腔体和下腔体，隔板开设有通孔，通孔形状与托盘一致，大小不小于托盘，托盘下方通过升降杆连接有电缸，烘烤腔接设有氮气管路，氮气管路另一端连接有氮气瓶，下腔体还接设有抽气管路，抽气管路与抽气泵连接，下腔体下方设置有加热板。本实用新型通过设置两层腔体，加热时不会因空间过小对半导体硅片造成提前加热，电缸升降杆控制托盘分隔两层腔体，仅对下层腔体抽真空，避免直接负压抽气造成光刻胶涂层不均匀，减少了氮气用量和供应时间，对两层腔体分别通氮气保护，有效实现烘烤过程的厌氧环境，降低了材料的黄变率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环境 烤胶机 | ||
【主权项】：
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