[实用新型]一种卧式LPCVD设备上下料系统

摘要

本实用新型公开一种卧式LPCVD设备上下料系统,包括水平移动单元、垂直升降单元以及悬臂桨单元，悬臂桨单元承载装载有晶圆的石英舟，水平移动单元和垂直升降单元控制悬臂桨单元将装载有晶圆的石英舟输送至反应腔室的上料工序以及将装载已工艺晶圆的石英舟从反应腔室输出的下料工序，本实用新型通过一组水平移动单元1和一组垂直升降单元2的运动组合，实现了向高低位置不同的反应腔室送入和取出晶圆，节约了设备内部空间，同时也为工艺后的晶圆降低温度增加了空间，提高了晶圆的降温速度，减少了晶圆的降温时间，方便人员操作维护。