[实用新型]一种去胶剥离机的花篮驱动装置

摘要

本实用新型公开了一种去胶剥离机的花篮驱动装置，包括底座，所述底座上竖直升降安装有升降座，该升降座由升降动力装置驱动，所述升降座上设置有安装座，该安装座设置有延伸向浸泡装置的浸泡腔体上方的安装板，所述安装板上安装有用于悬挂并且调节花篮角度的悬挂调节装置，所述悬挂调节装置的下端伸入到浸泡腔体内并悬挂浸泡腔体内的花篮。该花篮驱动装置不但能驱动花篮的升降，而且能驱动花篮倾斜，这样使晶圆处于倾斜状态浸没在化学液中，避免晶圆无规律的位置移动，去胶更彻底。