[实用新型]一种去胶剥离机的高压剥离装置

摘要

本实用新型公开了一种去胶剥离机的高压剥离装置，包括外腔体、清洗腔、晶圆卡座，清洗腔包括外固定圈、内固定圈和活动罩壳，活动罩壳升降安装于外腔体上且处于外固定圈和内固定圈之间，外腔体内设置有第一升降摆臂和第二升降摆臂，第一升降摆臂和第二升降摆臂的末端分别安装有常压喷嘴和高压喷嘴，清洗腔还安装有下喷嘴，下喷嘴、常压喷嘴和高压喷嘴分别与剥离液供应系统连通，所述外腔体的底部设置有外排液口、中间排液口和内排液口，外排液口、中间排液口和内排液口均与废液收集系统管道连通，外腔体上还设置有抽气口和进料口，抽气口与抽气系统相连通。该高压剥离装置能够更好的去胶剥离，减少剥离液的消耗，也减少了剥离液的飞溅。