[实用新型]一种反应釜用沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种反应釜，尤其涉及一种反应釜用沉积装置，包括釜体，釜体上设置有安装腔，安装腔内通过滑轨安装有收集箱。滑轨包括设置在安装腔内两侧的轨道，同时收集箱的两侧设置有滑块。在滑块上设置有缓冲槽，缓冲槽内插入有缓冲块，缓冲槽与缓冲块之间设置有缓冲弹簧。缓冲块朝向安装腔的内部，当收集箱移动并靠近安装腔的内壁时，缓冲块首先接触安装腔的内壁并通过压缩缓冲弹簧对收集箱的移动进行缓冲。缓冲块包括第一缓冲块与第二缓冲块，第一缓冲块与第二缓冲块相互垂直构成“T”字形结构，第一缓冲块插入缓冲槽内；第二缓冲块的长度与滑块的宽度一致，能够提高与安装腔内壁接触时的面积，保证缓冲效果。