[实用新型]一种反应釜用沉积装置

权利要求书

1.一种反应釜用沉积装置，包括釜体(100)，釜体(100)内通过滑轨安装有收集箱(300)，其特征在于，所述滑轨包括：

轨道(500)，置于收集箱(300)的两侧；

滑块(400)，与收集箱(300)的两侧的连接且嵌入轨道(500)内并可在轨道(500)上滑动；

缓冲槽(410)，置于滑块(400)上；

缓冲块，插入缓冲槽(410)内；

缓冲弹簧(430)，置于缓冲槽(410)内且连接缓冲槽(410)的底部与缓冲块插入缓冲槽(410)的一端；

其中，所述缓冲块包括第一缓冲块(420)与第二缓冲块(421)，第一缓冲块(420)与第二缓冲块(421)相互垂直，第一缓冲块(420)插入缓冲槽(410)内，第二缓冲块(421)的长度与滑块(400)的宽度一致。

2.根据权利要求1所述的一种反应釜用沉积装置，其特征在于，所述轨道(500)与滑块(400)之间设有阻尼机构，所述阻尼机构包括：

阻尼片(700)，置于轨道(500)与滑块(400)之间；

调节螺纹筒(710)，嵌入阻尼片(700)内且开口朝向滑块(400)；

调节螺杆(720)，穿过滑块(400)并与调节螺纹筒(710)相配合；

其中，所述阻尼片(700)的两端设置嵌入部(730)，所述滑块(400)上设有可使嵌入部(730)插入的嵌入槽(440)。

3.根据权利要求1所述的一种反应釜用沉积装置，其特征在于，所述滑块(400)与收集箱(300)之间通过支架(600)连接，所述支架(600)包括：

第一安装部(610)，置于收集箱(300)的侧壁上；

第二安装部(620)，连接滑块(400)；

其中，第二安装部(620)的一端设有卡接块，第一安装部(610)上设有与卡接块相对应的卡接槽(621)，第二安装部(620)的另一端设有第一安装孔，第一安装部(610)上设有与第一安装孔位置对应的第二安装孔，第一安装孔与第二安装孔通过紧固件(630)连接。

4.根据权利要求1所述的一种反应釜用沉积装置，其特征在于，所述釜体(100)上设有进料口，所述进料口上设有进料装置(200)，所述进料装置(200)包括：

进料斗(230)；

进料段(210)，一端连接进料斗(230)且内部设置有推料机构；

加热段(220)，一端连接进料段(210)，另一端连接进料口，加热段(220)的内部设有加热机构；

其中，所述推料机构为推进绞龙(211)，推进绞龙(211)的转轴延伸至进料段(210)外并连接驱动电机，所述加热机构为换热管(221)，所述换热管(221)螺旋置于加热段(220)的侧壁上。

5.根据权利要求1所述的一种反应釜用沉积装置，其特征在于，所述收集箱(300)的上端设有防漏板(310)。