[实用新型]一种机台目检显微镜装置有效
| 申请号: | 202123017849.4 | 申请日: | 2021-12-03 |
| 公开(公告)号: | CN216792047U | 公开(公告)日: | 2022-06-21 |
| 发明(设计)人: | 胡瑞;谢平;邱川益 | 申请(专利权)人: | 合肥新汇成微电子股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司: | 合肥辉达知识产权代理事务所(普通合伙) 34165 | 代理人: | 汪守勇 |
| 地址: | 230000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | 本实用新型提供一种机台目检显微镜装置。所述机台目检显微镜装置包括:用于芯片加工流水线的输送设备、设置于所述输送设备一侧的放置台和设置于所述输送设备上方用于目检的显微镜;滑动机构,所述滑动机构固定于所述放置台的顶部,所述滑动机构包括固定板,所述固定板的顶部固定连接有两个侧向挡板,两个所述侧向挡板之间固定连接有梯形滑轨。本实用新型提供的机台目检显微镜装置采用显微镜替换原有的目检放大镜,目镜的倍数是现有的放大镜的倍,过滑动凹架在梯形滑轨上的水平滑动,以及手动向不同的方向转动螺纹杆,方便带动显微镜共同移动,对显微镜的位置进行调整,精度高,操作简单,方便使用。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 机台 显微镜 装置 | ||
【主权项】:
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