[实用新型]一种机台目检显微镜装置有效
| 申请号: | 202123017849.4 | 申请日: | 2021-12-03 |
| 公开(公告)号: | CN216792047U | 公开(公告)日: | 2022-06-21 |
| 发明(设计)人: | 胡瑞;谢平;邱川益 | 申请(专利权)人: | 合肥新汇成微电子股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司: | 合肥辉达知识产权代理事务所(普通合伙) 34165 | 代理人: | 汪守勇 |
| 地址: | 230000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 机台 显微镜 装置 | ||
1.一种机台目检显微镜装置,其特征在于,包括:
用于芯片加工流水线的输送设备、设置于所述输送设备一侧的放置台和设置于所述输送设备上方用于目检的显微镜;
滑动机构,所述滑动机构固定于所述放置台的顶部,所述滑动机构包括固定板,所述固定板的顶部固定连接有两个侧向挡板,两个所述侧向挡板之间固定连接有梯形滑轨,所述梯形滑轨上固定连接有滑动凹架;
调节机构,所述调节机构固定于所述滑动凹架的顶部,所述调节机构包括连接块,所述连接块的一侧开设有螺纹孔,所述螺纹孔上螺纹连接有调节螺纹杆,所述调节螺纹杆的外表面转动连接有转动环,所述转动环的一侧固定连接有限位杆,所述连接块的一侧开设有和所述限位杆配合使用的限位孔,所述转动环的一侧固定连接有连接架。
2.根据权利要求1所述的机台目检显微镜装置,其特征在于,所述固定板固定于所述放置台的顶部,所述梯形滑轨的底部和所述固定板的顶部不接触。
3.根据权利要求2所述的机台目检显微镜装置,其特征在于,所述梯形滑轨的一侧开设有滑动槽口,所述滑动凹架的一侧固定连接有限位轴,所述限位轴的一端固定连接有限位环。
4.根据权利要求1所述的机台目检显微镜装置,其特征在于,所述连接块固定用于所述滑动凹架的顶部,所述限位杆的一端伸入所述限位孔的内部。
5.根据权利要求4所述的机台目检显微镜装置,其特征在于,所述连接块的顶部固定连接有用于带动所述连接块共同移动的把手。
6.根据权利要求5所述的机台目检显微镜装置,其特征在于,所述连接架上固定连接有升降机构,所述升降机构和所述显微镜固定连接用于带动所述显微镜共同移动。
7.根据权利要求6所述的机台目检显微镜装置,其特征在于,还包括限位滑槽,所述限位滑槽开设于所述固定板的顶部,所述滑动凹架的底部转动连接有可以在所述限位滑槽中滑动的滑轮。
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