[实用新型]一种开有倾斜槽的石英舟结构

摘要

本申请公开了一种开有倾斜槽的石英舟结构，所述石英舟包括支撑架体，所述支撑架体底部两侧设置有支撑柱，所述支撑架体包括沿水平方向设置的底座，所述底座用于承载晶片；所述底座的两侧分别设有一个与所述底座呈一定夹角的架壁；两个所述架壁相对于所述底座对称设置，两个所述架壁的上部分别设置有一个沿水平方向的上槽棒，所述上槽棒的侧面开设有上放置槽，所述上放置槽由若干倾斜的斜槽组成；所述底座下部设置有两个相对设置的下槽棒；所述下槽棒的上方开设有若干突起物，所述突起物由倾斜面和位于所述倾斜面顶部的帽檐组成。本申请通过将竖直放置槽改成倾斜放置槽，而且增加了帽檐凸起，不会与晶片薄膜面接触，提高薄膜晶片的成品良率。