[实用新型]一种基于空气动力学的匀流板结构

摘要

本实用新型公开了一种基于空气动力学的匀流板结构，包括匀流板本体，通过匀流板连接的上腔室和下腔室；上腔室中形成有若干进气部和若干抽气部，进气部间隔排布，且上腔室沿长度方向的中间位置未设置有进气部；抽气部置于进气部两侧；进气部设置有若干进气口，抽气部设置有若干顶部抽气口；进气部和抽气部的底部均设置有与匀流板本体相配合的若干匀流气孔；下腔室中设置有基板，基板正对若干进气部的下方；来自匀流气孔的气体在基板表面沉积出均匀的膜层；下腔室的底部设置有若干底部抽气口，底部抽气口沿匀流板本体长度方向对称设置。该匀流板结构运用空气动力学原理，使得匀流板结构的上腔室和下腔室中的气压分布均匀，确保基板镀膜均匀。