[实用新型]一种带水冷的工件架装置有效
| 申请号： | 202122865118.9 | 申请日： | 2021-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN216947168U | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 王伟;刘维龙;卢成 | 申请（专利权）人： | 成都国泰真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/54;C23C14/50 |
| 代理公司： | 成都其高专利代理事务所(特殊普通合伙) 51244 | 代理人： | 廖曾 |
| 地址： | 610000 四川省成都市温江*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带水冷的工件架装置，对现有的工件架装置进行改进，将工件盘非工作面设置单独管道或直接一体成型管道结构，并在工件架装置的外部设置水座装置，通过两组冷却管将水座装置与管道连接在一起，形成循环通路，从而在使用时利用水冷的方式带走工件盘（冷却盘）的表面温度，从而能够实现在不停机降温的情况下，持续实现镀膜操作，从而极大的提高镀膜效率，包括冷却盘、密封装置、焊接轴、伺服电机、同步带轮及箱体，所述冷却盘的非工作面设置有冷却管系统，冷却管系统与箱体外部的水座装置相连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水冷 工件 装置 | ||
【主权项】：
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