[实用新型]一种带水冷的工件架装置

说明书

本实用新型公开了一种带水冷的工件架装置，对现有的工件架装置进行改进，将工件盘非工作面设置单独管道或直接一体成型管道结构，并在工件架装置的外部设置水座装置，通过两组冷却管将水座装置与管道连接在一起，形成循环通路，从而在使用时利用水冷的方式带走工件盘（冷却盘）的表面温度，从而能够实现在不停机降温的情况下，持续实现镀膜操作，从而极大的提高镀膜效率，包括冷却盘、密封装置、焊接轴、伺服电机、同步带轮及箱体，所述冷却盘的非工作面设置有冷却管系统，冷却管系统与箱体外部的水座装置相连接。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体地说，是一种带水冷的工件架装置。

背景技术

在真空镀膜行业里，现有技术的用于镀膜的工件架装置，一般包括工件盘、密封装置5、焊接轴6、伺服电机9、同步带轮10、同步带、箱体11、电子枪、离子源等，工件盘的旋转轴通过同步带和同步带轮10构成的传动机构连接伺服电机9，密封装置5用于密封旋转轴伸出箱体11处的部位，焊接轴6安装在密封装置5外部的旋转轴上，箱体11用于内置工件盘且亦作为伺服电机9、同步带轮10、同步带等部件的安装支撑面。

而有一部分产品光学膜系结构需要在工件架装置中镀膜10个小时以上，在这个过程当中电子枪和离子源产生部分热量，这就会导致工件在这个过程中被加热，一般这种光学膜系最高承受温度是80℃。

以往的生产是等到工件到达80℃左右的时候就暂停镀膜（不破坏真空，停止电子枪和离子源），然后温度降下来之后再进行镀膜，不断的重复该过程。这个过程将会浪费很多的时间。

实用新型内容

本实用新型的目的在于设计一种带水冷的工件架装置，对现有的工件架装置进行改进，将工件盘非工作面设置单独管道或直接一体成型管道结构，并在工件架装置的外部设置水座装置，通过两组冷却管将水座装置与管道连接在一起，形成循环通路，从而在使用时利用水冷的方式带走工件盘（冷却盘）的表面温度，从而能够实现在不停机降温的情况下，持续实现镀膜操作，从而极大的提高镀膜效率。

本实用新型通过下述技术方案实现：一种带水冷的工件架装置，包括冷却盘、密封装置、焊接轴、伺服电机、同步带轮及箱体，所述冷却盘的非工作面设置有冷却管系统，冷却管系统与箱体外部的水座装置相连接。

进一步的为更好地实现本实用新型，特别采用下述设置结构：在所述水座装置上还安装有测温仪。

进一步的为更好地实现本实用新型，特别采用下述设置结构：所述冷却管系统包括两组冷却管和连通两组冷却管的管道，所述管道为一体成型于冷却盘非工作面的管道或贴设在冷却盘非工作面的独立管道或内嵌于冷却盘非工作面的独立管道。

进一步的为更好地实现本实用新型，特别采用下述设置结构：所述水座装置与冷却盘的旋转轴同轴设置，所述冷却管贯通焊接轴连接在水座装置上。

本实用新型与现有技术相比，具有以下优点及有益效果：

本实用新型对现有的工件架装置进行改进，将工件盘非工作面设置单独管道或直接一体成型管道结构，并在工件架装置的外部设置水座装置，通过两组冷却管将水座装置与管道连接在一起，形成循环通路，从而在使用时利用水冷的方式带走工件盘（冷却盘）的表面温度，从而能够实现在不停机降温的情况下，持续实现镀膜操作，从而极大的提高镀膜效率。

本实用新型相较于传统镀膜工件架装置，带水冷并实时测温的工件架装置能够大大降低生产成本，缩短生产周期，并且能够使产品的良率大大增加。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

其中，1-工件、2-冷却盘、3-冷却水管A、4-冷却水管B、5-密封装置、6-焊接轴、7-水座装置、8-测温仪、9-伺服电机、10-同步带轮、11-箱体。

具体实施方式