[实用新型]一种用于掩膜版存储箱的静电消除装置有效

专利信息
申请号: 202122864767.7 申请日: 2021-11-22
公开(公告)号: CN216253318U 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 周荣梵;林超;林伟 申请(专利权)人: 成都路维光电有限公司
主分类号: H05F3/00 分类号: H05F3/00;B08B7/00;A47L13/38
代理公司: 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 代理人: 喻英
地址: 610000 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种用于掩膜版存储箱的静电消除装置,包括储液管、传液管、具有吸水性的滚筒和用于向滚筒渗透防静电液的供液管,储液管的一端与传液管连接,供液管与传液管可拆卸连接,滚筒套装在供液管上,用于向掩膜版涂覆防静电液所述供液管的表面分布设置有圆孔,所述滚筒安装有粘尘纸卷,滚筒由防尘海绵制成,传液管包括直管和U型管,直管与U型管的中部连接,直管背离U型管的一端连接有调节阀,还包括转接管,转接管一端通过活接头与U型管的一端连接,转接管的另一端通过活接头与供液管的一端连接,本实用新型能给向掩膜版涂覆防静电液形成防静电薄膜以及去除掩膜版的灰尘。
搜索关键词: 一种 用于 掩膜版 存储 静电 消除 装置
【主权项】:
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