[实用新型]一种用于掩膜版存储箱的静电消除装置

说明书

本实用新型公开了一种用于掩膜版存储箱的静电消除装置，包括储液管、传液管、具有吸水性的滚筒和用于向滚筒渗透防静电液的供液管，储液管的一端与传液管连接，供液管与传液管可拆卸连接，滚筒套装在供液管上，用于向掩膜版涂覆防静电液所述供液管的表面分布设置有圆孔，所述滚筒安装有粘尘纸卷，滚筒由防尘海绵制成，传液管包括直管和U型管，直管与U型管的中部连接，直管背离U型管的一端连接有调节阀，还包括转接管，转接管一端通过活接头与U型管的一端连接，转接管的另一端通过活接头与供液管的一端连接，本实用新型能给向掩膜版涂覆防静电液形成防静电薄膜以及去除掩膜版的灰尘。

技术领域

本实用新型涉及掩膜版制造技术领域，具体涉及一种用于掩膜版存储箱的静电消除装置。

背景技术

掩膜版又称光掩膜版、光罩(Photo mask简称Mask)，由石英玻璃作为基板衬底。首先在石英玻璃基板上镀上一层金属铬层，然后在铬层上面涂覆光阻(又称光刻胶，一种感光材料，在特定波长光的照射下其化学性质会发生改变)。把已设计好的电路图形通过电子激光设备使光阻曝光，被曝光的区域通过制程(光阻显影、铬层蚀刻)后形成与设计图一样的电路图形，从而成为类似曝光后的底片的光掩模母版。掩膜版是半导体、平板显示等行业生产制造过程中重要的关键材料。作为光刻复制图形的基准和蓝本，掩膜版是连接工业设计和工艺制造的关键，掩膜版的精度和质量水平会直接影响最终下游制品的优品率。

在掩膜版制造过程中往往会因为人活动时身体和衣服之间，掩膜版厂内运转时人与掩膜版塑料存储箱之间的摩擦产生摩擦电荷。这些摩擦电荷一旦在箱体表面形成静电会吸附灰尘造成微尘污染，并且容易对产品造成静电击伤，降低制作精度。一旦精度不符合品控要求则会导致产品报废。因此，非常迫切地需要设计出特定的装置来消除掩膜版存储箱箱体表面的静电，从而避免静电击伤导致产品报废。

实用新型内容

目的在于提供一种用于掩膜版存储箱的静电消除装置，解决掩膜版厂内运转时人与掩膜版塑料存储箱之间的摩擦产生摩擦电荷，摩擦电荷一旦在箱体表面形成静电会吸附灰尘，容易对产品造成静电击伤，降低制作精度的技术问题。

本实用新型通过下述技术方案实现：

一种用于掩膜版存储箱的静电消除装置，包括储液管、传液管、具有吸水性的滚筒和用于向滚轮渗透防静电液的供液管，所述储液管的一端与传液管连接，所述供液管与传液管可拆卸连接，所述滚筒套装在供液管上，用于向掩膜版存储箱涂覆防静电液。

进一步的，所述供液管的表面分布设置有圆孔。

进一步的，所述滚筒表面粘贴有粘尘纸卷。

进一步的，所述滚筒由防尘海绵制成。

进一步的，所述传液管包括直管和U型管，所述直管与U型管的中部连接。

进一步的，所述直管背离U型管的一端连接有调节阀。

进一步的，还包括转接管，所述转接管一端通过活接头与U型管的一端连接，所述转接管的另一端通过活接头与供液管的一端连接。

进一步的，所述储液管的一端与调节阀连接，所述储液管背离调节阀的一端设有圆锥管。

进一步的，所述圆锥管横截面大的一端设有端盖。

进一步的，所述储液管的直径大于所述直管的直径。

本实用新型与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：

供液管表面分布设有圆孔，滚筒为防尘海绵材质，具有吸水性，其内腔的防静电液会由内至外渗透，均匀分布在滚轮表面并涂覆至掩膜版存储箱体表面，可有效消除静电和抑制静电的产生；滚轮上安装粘尘纸卷，以实现对掩膜版存储箱表面和设备表面除尘的目的；结构简单，补液方便，可以有效提高静电消除和除尘的效率。

附图说明