[实用新型]MEMS麦克风芯片及MEMS麦克风和电子设备有效
| 申请号： | 202122839769.0 | 申请日： | 2021-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN216437482U | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 王乾;张彦秀;韦仕贡;金文盛 | 申请（专利权）人： | 北京燕东微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京科慧致远知识产权代理有限公司 11739 | 代理人： | 王乾旭;赵红凯 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS麦克风芯片及MEMS麦克风和电子设备，涉及MEMS麦克风技术领域。MEMS麦克风芯片包括：基板，其上设置有贯通基板厚度的声腔；感应组件，其设置于基板上且覆盖声腔；该感应组件包括层叠且间隔设置的振膜和背极板；振膜朝向背极板的表面上设有多个凹槽，背极板朝向振膜的表面上设有多个绝缘的凸起；凹槽与凸起对应设置，且每一凹槽的深度小于其所对应的凸起凸出于背极板的高度。本实用新型解决了现有技术中MEMS麦克风芯片内设置的绝缘BUMP对振膜与固定背极板之间距离随声波变化的限制，进而减少了对吸合电容动态敏感度的限制，从而提高了MEMS麦克风的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 芯片 电子设备 | ||
【主权项】：
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