[实用新型]一种基于硅谐振绝压式压差测量装置有效
| 申请号: | 202122817728.1 | 申请日: | 2021-11-17 |
| 公开(公告)号: | CN216246973U | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
| 发明(设计)人: | 任明永;杨天博;康全礼;林阳洲 | 申请(专利权)人: | 合肥市盛文信息技术有限公司 |
| 主分类号: | G01L13/06 | 分类号: | G01L13/06;G01L19/04;G01L19/06 |
| 代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人: | 孙悦 |
| 地址: | 230094 安徽省合肥市高新*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及压力检测设备技术领域,具体涉及基于硅谐振绝压式压差测量装置,包括装置本体和盖体,装置本体中央设有通槽和测压口,通槽内设有校正谐振器、测量谐振器和压膜片,压膜片上设有减振凹槽,装置本体内设有激振电极和拾振电极,校正谐振器上设有第一激振电阻和第一拾振电阻,测量谐振器上设有第二激振电阻和第二拾振电阻,且第一激振电阻和第二激振电阻通过导线连接于激振电极,第一拾振电阻和第二拾振电阻通过导线连接于拾振电极;盖体中央的空腔覆盖住通槽的上表面,空腔内设有温度检测器和温度控制器,空腔上方设有连接真空管的通孔,且真空管上设有控制阀。本实用新型结构简单,显著提高了检测的准确度。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 基于 谐振 绝压式压差 测量 装置 | ||
【主权项】:
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