[实用新型]一种基于硅谐振绝压式压差测量装置

权利要求书

1.一种基于硅谐振绝压式压差测量装置，其特征在于：包括

装置本体(1)，所述装置本体(1)的中央设有通槽(3)和测压口(7)，且所述测压口(7)设置于通槽(3)的下方，所述通槽(3)内从上到下依次设有校正谐振器(4)、测量谐振器(5)和压膜片(6)，且所述校正谐振器(4)设置于通槽(3)的顶部，所述压膜片(6)覆盖住通槽(3)的底部，所述压膜片(6)上设有3-9个减振凹槽(15)；所述装置本体(1)内设有激振电极(12)和拾振电极(13)，所述激振电极(12)和拾振电极(13)分别设置于通槽(3)的两侧，且所述激振电极(12)和拾振电极(13)与外部处理系统电性连接；所述校正谐振器(4)上设有第一激振电阻(8)和第一拾振电阻(9)，所述测量谐振器(5)上设有第二激振电阻(10)和第二拾振电阻(11)，且所述第一激振电阻(8)和第二激振电阻(10)通过导线连接于激振电极(12)，所述第一拾振电阻(9)和第二拾振电阻(11)通过导线连接于拾振电极(13)；以及

盖体(2)，所述盖体(2)设置于装置本体(1)的上方，且所述盖体(2)与装置本体(1)密封相接；所述盖体(2)的中央设有空腔(16)，且所述空腔(16)覆盖住通槽(3)的上表面，所述空腔(16)内设有温度检测器(21)和温度控制器(22)，且所述温度检测器(21)和温度控制器(22)与外部处理系统电性连接；所述空腔(16)上方的盖体(2)上设有通孔(17)，所述通孔(17)上连接有真空管(18)，所述真空管(18)上设有控制阀(19)；所述盖体(2)外表面的前方设有提手(20)。

2.根据权利要求1所述的基于硅谐振绝压式压差测量装置，其特征在于：所述测压口(7)的横截面的形状为等腰梯形。

3.根据权利要求1所述的基于硅谐振绝压式压差测量装置，其特征在于：所述减振凹槽(15)为U字型或倒三角形中的一种。

4.根据权利要求1或3所述的基于硅谐振绝压式压差测量装置，其特征在于：所述减振凹槽(15)等间距均匀地设置。

5.根据权利要求1所述的基于硅谐振绝压式压差测量装置，其特征在于：所述装置本体(1)与压膜片(6)相连接处设有缓冲凹槽(14)，所述缓冲凹槽(14)设置于通槽(3)的侧壁上，且所述缓冲凹槽(14)的高度小于压膜片(6)的厚度。

6.根据权利要求5所述的基于硅谐振绝压式压差测量装置，其特征在于：所述缓冲凹槽(14)为圆角三角形或半圆形中的一种。

7.根据权利要求1所述的基于硅谐振绝压式压差测量装置，其特征在于：所述激振电极(12)上设有第一电极输出端(1201)和第一电极输入端(1202)，所述拾振电极(13)上设有第二电极输出端(1301)和第二电极输入端(1302)。

8.根据权利要求7所述的基于硅谐振绝压式压差测量装置，其特征在于：所述第一激振电阻(8)通过第一输入导线(801)连接于第一电极输出端(1201)，所述第一激振电阻(8)通过第一输出导线(802)连接于第一电极输入端(1202)，所述第一拾振电阻(9)通过第二输入导线(901)连接于第二电极输出端(1301)，所述第一拾振电阻(9)通过第二输出导线(902)连接于第二电极输入端(1302)；所述第二激振电阻(10)通过第三输入导线(1001)连接于第一电极输出端(1201)，所述第二激振电阻(10)通过第三输出导线(1002)连接于第一电极输入端(1202)，所述第二拾振电阻(11)通过第四输入导线(1101)连接于第二电极输出端(1301)，所述第二拾振电阻(11)通过第四输出导线(1102)连接于第二电极输入端(1302)。

9.根据权利要求1所述的基于硅谐振绝压式压差测量装置，其特征在于：所述装置本体(1)上表面的周围设有第一密封件(23)，所述盖体(2)下表面的周围设有第二密封件(24)，且所述第一密封件(23)与第二密封件(24)密封卡合相接。