[实用新型]一种掺钙氧化铟薄膜晶体管及由其制成的乙醇传感器有效
| 申请号： | 202122811805.2 | 申请日： | 2021-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN216250742U | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 朱博文;赵沫沫;任慧慧 | 申请（专利权）人： | 西湖大学 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/24;G01N27/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 贾玉霞 |
| 地址： | 310000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种掺钙氧化铟薄膜晶体管及由其制成的乙醇传感器，薄膜晶体管从下往上依次包括硅衬底、介电层、图形化的掺钙氧化铟半导体层，所述掺钙氧化铟半导体层上设有源极和漏极。所述的乙醇传感器还还包括用于装待测气体的微流控腔体，所述微流控腔体位于所述介电层上，且内部开设有凹槽，所述凹槽包围掺钙氧化铟半导体层、介电层的局部和源极、漏极的叉指部分。通过将钙离子引入氧化铟薄膜中，以实现薄膜晶体管器件性能的提升。所述的钙离子掺杂对乙醇传感器的性能和灵敏度也有显著提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 薄膜晶体管 制成 乙醇 传感器 | ||
【主权项】：
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