[实用新型]一种ITO旋转靶材成型外圆固定装置有效
| 申请号： | 202122788203.X | 申请日： | 2021-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN216473456U | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 张启华;于林林;代立鑫 | 申请（专利权）人： | 洛阳晶联光电材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 洛阳公信联创知识产权代理有限公司 41190 | 代理人： | 周会芝 |
| 地址： | 471000 河南省洛阳市洛阳空港*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种ITO旋转靶材成型外圆固定装置，包括：第一固定套和多个第二固定套，第一固定套由两个第一半圆壳体通过第一连接件对接而成，第一半圆壳体外侧竖直设有多个第一固定杆，第一固定杆通过连接杆与第一半圆壳体外壁连接，第一固定杆下端设有支撑座，多个第二固定套从上到下依次设置在第一固定套上端，第二固定套与第一固定套内径相同，第二固定套由两个第二半圆壳体通过第二连接件对接而成。本申请结构简单，操作方便，结构简单，制作容易，能够提高超长的ITO旋转靶材成型粉料填充的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 旋转 成型 固定 装置 | ||
【主权项】：
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