[实用新型]一种ITO旋转靶材成型外圆固定装置

说明书

本申请涉及一种ITO旋转靶材成型外圆固定装置，包括：第一固定套和多个第二固定套，第一固定套由两个第一半圆壳体通过第一连接件对接而成，第一半圆壳体外侧竖直设有多个第一固定杆，第一固定杆通过连接杆与第一半圆壳体外壁连接，第一固定杆下端设有支撑座，多个第二固定套从上到下依次设置在第一固定套上端，第二固定套与第一固定套内径相同，第二固定套由两个第二半圆壳体通过第二连接件对接而成。本申请结构简单，操作方便，结构简单，制作容易，能够提高超长的ITO旋转靶材成型粉料填充的均匀性。

技术领域

本实用新型涉及靶材制造技术领域，特别涉及一种ITO旋转靶材成型外圆固定装置。

背景技术

目前，ITO旋转靶材常用的制备方法有烧结法和喷涂法。烧结法主要采用常压烧结，常压烧结法是将氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后装入管状柔性模具中，通过等静压成型制成素坯后烧结，为得到常压烧结的ITO旋转靶材胚体，现国内生产ITO旋转靶材成型装置通常使用厚聚氨酯胶套作为粉料填充保护套，上下两端加以端盖，中间采用硬质芯轴作为成型方式，从而通过冷等静压方式得到相应ITO旋转靶素胚，但聚氨酯胶套虽然自身有相应强度，可支撑粉料填充。

但是，对于超长ITO旋转靶材的成型，越长的胶套支撑性越差，就难以达到粉料填充的均匀性，从而难以控制粉料填充后压制ITO靶材外表面的椭圆度，造成成型得料率的损失。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，一种ITO旋转靶材成型外圆固定装置，结构简单，操作方便，结构简单，制作容易，能够提高超长的ITO旋转靶材成型粉料填充的均匀性。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种ITO旋转靶材成型外圆固定装置，包括：第一固定套，由两个第一半圆壳体通过第一连接件对接而成，所述第一半圆壳体外侧竖直设有多个第一固定杆，所述第一固定杆通过连接杆与第一半圆壳体外壁连接，第一固定杆下端设有支撑座；

多个第二固定套，从上到下依次设置在第一固定套上端，所述第二固定套与第一固定套内径相同，第二固定套由两个第二半圆壳体通过第二连接件对接而成。有益效果：两个第一半圆壳体对接形成第一固定套，两个第二半圆壳体对接形成第二固定套，结构简单，操作简便，能够提高超长的ITO旋转靶材成型粉料填充的均匀性及粉料填充后压制ITO靶材外表面圆度，从而起到提搞ITO旋转靶材成型得料率及良品率；通过设置多个第二固定套，可以适用于不同长度的ITO旋转靶材成型，适用范围广，灵活性强。

进一步地，所述支撑座呈V形，两个支撑座的V形口相对设置。

进一步地，所述第一连接件包括分别设置在第一半圆壳体两侧的第一连接板，两个第一半圆壳体同侧的第一连接板相对设置且通过螺栓连接。有益效果：相对的两个第一连接板通过螺栓连接，拆卸方便，提高了工作效率。

进一步地，所述第二连接件包括分别设置在第二半圆壳体两侧的第二连接板，两个第二半圆壳体同侧的第二连接板相对设置且通过螺栓连接。有益效果：相对的两个第二连接板通过螺栓连接，拆卸方便，灵活性强，提高了工作效率。

进一步地，所述第二半圆壳体外侧竖直设有多个第二固定杆，所述第二固定杆通过连接杆与第二半圆壳体外壁连接，所述第二固定杆下端竖直设有卡轴，所述第一固定杆上端设有与卡轴配合的第一沉孔。

进一步地，所述第二固定杆上端设有与卡轴配合的第二沉孔，位于上端的第二固定杆的卡轴卡入位于下端的第二固定杆的第二沉孔内。

进一步地，所述第一固定杆外壁上设有用于锁紧卡轴的锁紧螺栓A。有益效果：通过设置锁紧螺栓A锁紧卡轴，防止第二固定套上下晃动，提高了装置的稳定性。

进一步地，所述第二固定杆外壁上设有用于锁紧卡轴的锁紧螺栓B。有益效果：通过锁紧螺栓B锁紧卡轴，防止相邻两个第二固定套上下晃动，提高了装置的稳定性。

进一步地，所述卡轴的长度分别与第一沉孔和第二沉孔的深度相同。