[实用新型]一种用于光通信设备中的硅片热氧化装置

摘要

本实用新型涉及热氧化装置技术领域，具体揭示了一种用于光通信设备中的硅片热氧化装置，包括热氧化装置主体、注氧机、进气口、出气孔、固定架、第一连接板、加热器和多个支撑柱，所述热氧化装置主体的两侧均开设有通口，所述固定架设置于热氧化装置主体的底部。通过第一连接板、金属网、第二齿轮盘以及金属杆与热氧化装置主体之间的连接关系设计，使得工作人员可将待氧化处理的硅片依次利用两个金属网分别进行加工处理，使其工作人员在利用该装置对上一批硅片进行处理过程中，将下一批待处理的硅片置于另一个滤网内，便于再一次的加工处理，从而使得该热氧化装置对批量硅片的氧化加工处理的效率更高。