[实用新型]一种用于光通信设备中的硅片热氧化装置

权利要求书

1.一种用于光通信设备中的硅片热氧化装置，包括热氧化装置主体(1)、注氧机(3)、进气口(4)、出气孔(5)、固定架(6)、第一连接板(12)、加热器(19)和多个支撑柱(2)，其特征在于：

所述热氧化装置主体(1)的两侧均开设有通口；

所述固定架(6)设置于热氧化装置主体(1)的底部，所述固定架(6)的内部安装有驱动电机(7)，所述驱动电机(7)的输出端设有第一锥形轮盘(8)，所述固定架(6)的两侧均贯穿插接有连接杆(9)，两个所述连接杆(9)的相对面均设有与第一锥形轮盘(8)相啮合的第二锥形轮盘(10)，两个所述连接杆(9)相远离的一端均设有第一齿轮盘(11)；

所述第一连接板(12)的两侧均开设有转动槽且设有两个通过通口突出至热氧化装置主体(1)外侧的金属杆(13)，多个所述金属杆(13)之间均设有表面开设有开口的金属网(14)，多个所述金属杆(13)远离第一连接板(12)的一端均设有第二齿轮盘(25)。

2.根据权利要求1所述的一种用于光通信设备中的硅片热氧化装置，其特征在于：所述第一连接板(12)的两侧以及两个第二齿轮盘(25)的相对面均沿环形设有橡胶圈(18)，多个所述橡胶圈(18)分别与热氧化装置主体(1)的表面紧密贴合。

3.根据权利要求1所述的一种用于光通信设备中的硅片热氧化装置，其特征在于：靠近所述热氧化装置主体(1)内壁顶部的两个金属杆(13)的表面均开设有通槽，所述金属杆(13)的内部通过通槽滑动连接有弧形挡板(15)，两个所述弧形挡板(15)分别与金属网(14)所开设开口的位置相对应。

4.根据权利要求1所述的一种用于光通信设备中的硅片热氧化装置，其特征在于：所述金属杆(13)的表面且靠近所开设通槽的位置处开设有第一凹槽，所述金属杆(13)的内部且靠近所开设第一凹槽的位置处设有与弧形挡板(15)紧密贴合的橡胶垫(17)。

5.根据权利要求4所述的一种用于光通信设备中的硅片热氧化装置，其特征在于：所述弧形挡板(15)的表面且靠近端面的位置处均一体成型有凸起(16)，所述凸起(16)的表面开设有第二凹槽。

6.根据权利要求1所述的一种用于光通信设备中的硅片热氧化装置，其特征在于：所述热氧化装置主体(1)的两侧均设有螺纹杆(20)，所述螺纹杆(20)的表面螺纹连接有螺母(21)，两个所述螺母(21)的相对面均开设滑槽且转动连接有第二连接板(22)。

7.根据权利要求6所述的一种用于光通信设备中的硅片热氧化装置，其特征在于：所述第二连接板(22)的顶部一体成型有凸板(23)，所述凸板(23)的侧面贯穿开设有插槽，所述热氧化装置主体(1)的两侧均设有突出至凸板(23)所开设插槽内的插杆(24)。

8.根据权利要求1所述的一种用于光通信设备中的硅片热氧化装置，其特征在于：多个所述支撑柱(2)之间均沿水平纵向设有第三连接板(26)，所述第三连接板(26)相远离的一侧设有凸杆(27)，所述凸杆(27)远离第三连接板(26)的一端设有位于第二齿轮盘(25)外侧的限位框(28)。