[实用新型]一种同时测量多层膜厚和折射率的测量系统有效
| 申请号： | 202122686925.4 | 申请日： | 2021-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN216770672U | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 徐董董;郑改革;王升耀 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G01B11/06;G01N21/41 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 梁语嫣 |
| 地址： | 210044 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种同时测量多层膜厚和折射率的测量系统，包括激光发射器，通过分束器将激光分成两条光束，以不同入射角入射到多层膜样品上，再用两个电荷耦合器分别接收多层膜样品上下表面反射的激光束，最后通过处理设备处理数字图像，获得多层膜样品每层的厚度和折射率；所述两条光束中的一条光束通过第一反射镜反射到第一凸透镜进行激光束整形后再由第一反射镜入射到多层膜样品上；所述两条光束的另外一条光束直接经过第二凸透镜进行激光束整形，然后通过第二反射镜入射到多层膜样品上。本实用新型通过非接触式测量，不会对被测样品产生不良影响，提出的测量系统结构简单，易于制造，并且能同时测量多层样品的厚度与折射率，使用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 同时 测量 多层 折射率 系统 | ||
【主权项】：
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