[实用新型]一种同时测量多层膜厚和折射率的测量系统

权利要求书

1.一种同时测量多层膜厚和折射率的测量系统，其特征在于，包括激光发射器(1-1)，通过分束器(1-2)将激光分成两条光束，以不同入射角入射到多层膜样品(2)上，再用两个电荷耦合器3-1和3-2分别接收多层膜样品(2)上下表面反射的激光束，最后通过处理设备处理数字图像，获得多层膜样品(2)每层的厚度和折射率；

所述两条光束中的一条光束通过第一反射镜(1-5)反射到第一凸透镜(1-6)进行激光束整形后再由第一反射镜(1-5)以θ_a为30°的入射角入射到多层膜样品(2)上；

所述两条光束的另外一条光束直接经过第二凸透镜(1-3)进行激光束整形，然后通过第二反射镜(1-4)以θ_b为45°的入射角入射到多层膜样品(2)上；

所述多层膜样品是具有厚度t₁折射率n₁，厚度t₂折射率n₂，厚度t₃折射率n₃的三层透明介质膜，激光束进入透明薄膜时会产生折射和反射，因此反射到电荷耦合器3-1和3-2上的激光点为4个点，根据几何关系和斯涅尔定律，可以得到：

其中：d代表电荷耦合器上光斑与光斑之间的距离，n代表多层膜样品的折射率，t代表多层膜样品的厚度。

2.根据权利要求1所述的一种同时测量多层膜厚和折射率的测量系统，其特征在于，所述两个电荷耦合器用于捕捉激光光斑信号并测量反射光线间距。

3.根据权利要求1所述的一种同时测量多层膜厚和折射率的测量系统，其特征在于，所述第二凸透镜(1-3)和第一凸透镜(1-6)均用于激光束的整形。