[实用新型]一种散热性能好的气相沉积炉

摘要

本实用新型提供一种散热性能好的气相沉积炉，包括炉体和炉盖，所述炉体内设有沉积腔室，所述炉体的顶部设有与所述沉积腔室连通的开口，所述炉盖盖合在所述开口上；所述炉体的炉侧壁内设有散热通道，所述炉体的炉侧壁上设有与所述散热通道连通的冷却介质入口管道和冷却介质出口管道；所述散热通道包括多个环绕于所述炉体的环形流道，多个所述环形流道沿所述炉体的延伸方向呈间隔分布，且相邻环所述形流道之间的间距相等。本实用新型提供的散热性能好的气相沉积炉，能够保证对炉体延伸方向上各区域同时散热，能够提高气相沉积炉的散热性能。