[实用新型]一种散热性能好的气相沉积炉

说明书

本实用新型提供一种散热性能好的气相沉积炉，包括炉体和炉盖，所述炉体内设有沉积腔室，所述炉体的顶部设有与所述沉积腔室连通的开口，所述炉盖盖合在所述开口上；所述炉体的炉侧壁内设有散热通道，所述炉体的炉侧壁上设有与所述散热通道连通的冷却介质入口管道和冷却介质出口管道；所述散热通道包括多个环绕于所述炉体的环形流道，多个所述环形流道沿所述炉体的延伸方向呈间隔分布，且相邻环所述形流道之间的间距相等。本实用新型提供的散热性能好的气相沉积炉，能够保证对炉体延伸方向上各区域同时散热，能够提高气相沉积炉的散热性能。

技术领域

本实用新型属于气相沉积炉技术领域，特别涉及一种散热性能好的气相沉积炉。

背景技术

炭-炭复合材料是碳纤维增强碳基体的一种高性能复合材料，具有强度高、耐腐蚀、可设计性强等特点，在航天、航空、交通等诸多领域已得到广泛应用，并随着社会的发展和科技的进步，对炭-炭复合材料产品的质量有了更高的要求。

化学气相沉积技术是应用气态物质在固体表面发生化学反应并产生固态沉积物的一种工艺，它大致包含三步：(1)形成挥发性物质；(2)把上述物质转移至沉积区域；(3)在固体上产生化学反应并产生固态物质。化学气相沉积是一种被广泛应用于生产炭-炭复合材料的工艺方法。现有的气相沉积炉或沉积系统，大多是从沉积炉的底部通过进气管路向沉积炉内通入碳源气体，碳源气体以一定的流量、流速直接通入到炉体内的沉积室的底部，并发生热解后形成基体碳沉积于坯体产品的内部或表面。

然而，现有的气相沉积炉通常为炉底散热，存在散热性能差的问题。

实用新型内容

为了解决现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种散热性能好的气相沉积炉，可提高气相沉积炉的散热性能。

本实用新型提供的散热性能好的气相沉积炉，包括炉体和炉盖，所述炉体内设有沉积腔室，所述炉体的顶部设有与所述沉积腔室连通的开口，所述炉盖盖合在所述开口上；

所述炉体的炉侧壁内设有散热通道，所述炉体的炉侧壁上设有与所述散热通道连通的冷却介质入口管道和冷却介质出口管道；

所述散热通道包括多个环绕于所述炉体的环形流道，多个所述环形流道沿所述炉体的延伸方向呈间隔分布，且相邻环所述形流道之间的间距相等。

本申请实施例提供的散热性能好的气相沉积炉，在炉体的炉侧壁内设置环绕于炉体的多个环形流道，通过冷却介质入口管道向环形流道内输入冷却介质，冷却介质在流经各环形流道时与炉体的进行换热，换热后的冷却介质通过冷介质出口排出，从而带走气相沉积炉的热量。由于多个环形流道沿炉体的延伸方向呈间隔分布，且相邻环形流道之间的间距相等，能够保证对炉体延伸方向上各区域同时散热，能够提高气相沉积炉的散热性能。并且，由于多个环形流道沿炉体的延伸方向呈间隔分布，且相邻环形流道之间的间距相等，还能保证气相沉积炉的散热更加均匀。

作为一种可实现的方式，本申请实施例的散热性能好的气相沉积炉，所述散热通道还包括多个纵向流道，所述纵向流道沿所述炉体的周向间隔分布，且相邻所述纵向流道之间的间距相等。

这样，纵向流道沿炉体的周向间隔分布，且相邻纵向流道之间的间距相等，从而与环形流道共同形成网状的散热通道，能够进一步提高气相沉积炉的散热性能，使气相沉积炉的散热更加均匀。

作为一种可实现的方式，本申请实施例的散热性能好的气相沉积炉，所述纵向流道设置于多个所述环形流道中的其中两个所述环形流道之间，且所述纵向流道的两端分别连接两个所述环形流道。

这样，冷却介质能够借助纵向流道在两个环形流道之间流动，从而保证纵向流道、环形流道内冷却介质温度的相对均衡，使气相沉积炉的散热更加均匀。另外，纵向流道与环形流道连通，使之与环形流道能够位于同一个空间内，故能简化散热通道的结构，减小炉侧壁的厚度。

作为一种可实现的方式，本申请实施例的散热性能好的气相沉积炉，所述纵向流道与各所述环形流道均连通。